| 规格 | 干簧继电器 | 机械继电器 | 半导体继电器 |
| 切换时间 | 10 µs – 1 µs | > 5 µs | > 100 µs |
| 预期寿命：低电平 | 1010 次 | 106 次 | 接近无极限 |
| 功耗 | 可达3mW | 50mW | 可达3mV |
| 切换电压 | 10 kVDC | 1.5 kVDC | 1.5 kVDC |
| 切换电流 | 最大3A / 最大0.5A | 达40A | 达40A |
| 最小负载 | 无需负载 (µV/pA) | 50mW | 50mW |
| 绝缘电阻 | 1014 欧姆 | 109 欧姆 | 109 欧姆 |
| 噪音 | 无切换噪音 | 无切换噪音 | 无切换噪音 |
| 插入损耗 | 低（0.5dB） | 低（0.5dB） | 高 (2dB) |
| 过载 | 高灵敏 | 不灵敏 | |
| 一般性能 | 自DC至GHz的线性图 | 自DC至GHz的线性图 | 信号失真 |
| 一般性能 | 电流隔离（空气间隙） | 电流隔离（空气间隙） | 无电流隔离（低/高） |
